Op werkdagen voor 23:00 besteld, morgen in huis Gratis verzending vanaf €20
, ,

Micro and Nano Fabrication

Tools and Processes

Paperback Engels 2016 9783662508268
Verwachte levertijd ongeveer 8 werkdagen

Samenvatting

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.

Specificaties

ISBN13:9783662508268
Taal:Engels
Bindwijze:paperback
Uitgever:Springer Berlin Heidelberg
Hoofdrubriek:

Lezersrecensies

Wees de eerste die een lezersrecensie schrijft!

Geef uw waardering

Zeer goed Goed Voldoende Matig Slecht

Inhoudsopgave

Introduction-MEMS, a Historical Perspective.- Vacuum Technology.- Deposition Technologies.- Etching Technologies.- Doping and Surface Modification.- Lithography.- LIGA.- Nanofabrication by Self-Assembly.- Enabling Technologies I - Wafer Planarization and Bonding.- Enabling Technologies II - Contamination Control.- Device Fabrication - An Example.

Managementboek Top 100

Rubrieken

Populaire producten

    Personen

      Trefwoorden

        Micro and Nano Fabrication