Günter Schumicki,
Peter Seegebrecht
Prozeßtechnologie
Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
Paperback Duits 1991 9783540176701Levertijd ongeveer 9 werkdagen
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Samenvatting
Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
Specificaties
ISBN13:9783540176701
Taal:Duits
Bindwijze:Paperback
Aantal pagina's:500
Uitgever:Springer Berlin Heidelberg
Serie:Mikroelektronik
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