Plasma Etching

Fundamentals and Applications

Gebonden Engels 1998 9780198562870
€ 311,79
Levertijd ± 11 werkdagen
Gratis verzonden

Samenvatting

The focus of this book is the remarkable advances in understanding of low pressure RF (radio frequency) glow discharges. A basic analytical theory and plasma physics are explained. Plasma diagnostics are also covered before the practicalities of etcher use are explored.

Specificaties

ISBN13:9780198562870
Taal:Engels
Bindwijze:Gebonden
Aantal pagina's:356
Uitgever:OUP OXFORD

Lezersrecensies

Wees de eerste die een lezersrecensie schrijft!

Managementboek Top 100

€ 311,79
Levertijd ongeveer 11 werkdagen
Gratis verzonden

Rubrieken

Producten

    Auteurs

      Trefwoorden

        Artikelen

          Plasma Etching