Cheol Seong Hwang
Atomic Layer Deposition for Semiconductors
Paperback Engels 2016 9781489979438Levertijd ± 9 werkdagen
Gratis verzonden
Samenvatting
This edited volume discusses atomic layer deposition (ALD) for all modern semiconductor devices, moving from the basic chemistry of ALD and modeling of ALD processes to sections on ALD for memories, logic devices, and machines. The section on ALD for memories covers both mass-produced memories, such as DRAM and Flash, and emerging memories, such as PCRAM and FeRAM. The section on ALD for logic devices covers both front-end of the line processes and back-end of the line processes. The final section on ALD for machines looks at toolsets and systems hardware. Each chapter provides the history, operating principles, and a full explanation of ALD processes for each device.
Specificaties
ISBN13:9781489979438
Taal:Engels
Bindwijze:Paperback
Aantal pagina's:263
Uitgever:Springer US
Hoofdrubriek:Wetenschap en techniek, Computer en informatica
Lezersrecensies
Wees de eerste die een lezersrecensie schrijft!
Inhoudsopgave
Introduction.- Precursors and reaction mechanisms.- ALD simulations.- ALD for mass-production memories (DRAM and Flash).- ALD for emerging memories.- PcRAM.- FeRAM.- Front end of the line process.- Back end of the line.- ALD machines.
Rubrieken
- advisering
- algemeen management
- coaching en trainen
- communicatie en media
- economie
- financieel management
- inkoop en logistiek
- internet en social media
- it-management / ict
- juridisch
- leiderschap
- marketing
- mens en maatschappij
- non-profit
- ondernemen
- organisatiekunde
- personal finance
- personeelsmanagement
- persoonlijke effectiviteit
- projectmanagement
- psychologie
- reclame en verkoop
- strategisch management
- verandermanagement
- werk en loopbaan