,

Modelling of Microfabrication Systems

Gebonden Engels 2003 2003e druk 9783540002529
€ 180,99
Levertijd ongeveer 9 werkdagen
Gratis verzonden

Samenvatting

This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

Specificaties

ISBN13:9783540002529
Taal:Engels
Bindwijze:Gebonden
Aantal pagina's:270
Uitgever:Springer Berlin Heidelberg
Druk:2003

Lezersrecensies

Wees de eerste die een lezersrecensie schrijft!

Managementboek Top 100

€ 180,99
Levertijd ongeveer 9 werkdagen
Gratis verzonden

Rubrieken

    Personen

      Trefwoorden

        Artikelen

          Modelling of Microfabrication Systems