Werner Prost
Technologie der III/V-Halbleiter
III/V-Heterostrukturen und elektronische Höchstfrequenz-Bauelemente
Paperback Duits 1997 9783540628040Levertijd ongeveer 9 werkdagen
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Samenvatting
Für zahlreiche neue Anwendungen vor allem in der Kommunikationstechnik sind die III-V-Verbindungshalbleiter die technologische Basis. Entsprechend wertvoll wird das Wissen über die Herstellungstechniken von Bauelementen für integrierte Mikrowellenschaltungen, denen dieses Werk gewidmet ist. Es wendet sich als Lehr- und Fachbuch an Studenten und Entwicklungsingenieure, denen der Einstieg in dieses Gebiet durch den methodischen Ansatz und den Verweis auf die aktuelle internationale Fachliteratur erleichtert wird. Besonders hervorzuheben ist die ausführliche Behandlung von Halbleiter-Heterostukturen.
Specificaties
ISBN13:9783540628040
Taal:Duits
Bindwijze:Paperback
Aantal pagina's:206
Uitgever:Springer Berlin Heidelberg
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Inhoudsopgave
1: Herstellung von III/V- Halbleiter-Heterostrukturen.- 0 Einleitung.- 1 Halbleiter-Materialsysteme.- 2 Halbleiterkristallzucht (GaAs).- 3 Herstellung aktiver Bauelementschichten.- 4 Material-Charakterisierung von Halbleiter-Heterostrukturen.- 2: Technologie elektronischer Höchstfrequenz-Bauelemente.- 5 Abscheidung und Charakterisierung dielektrischer Schichten.- 6 Bauelementtechnologie.- 7 Umweltschutz und Arbeitssicherheit.- Übungsaufgaben.- Liste der verwendeten Formelzeichen.- Druck-Umrechnungstabelle.- Naturkonstanten.- Stichwortverzeichnis.
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