,

Modelling of Microfabrication Systems

Paperback Engels 2010 9783642055362
€ 180,99
Levertijd ongeveer 9 werkdagen
Gratis verzonden

Samenvatting

This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

Specificaties

ISBN13:9783642055362
Taal:Engels
Bindwijze:paperback
Aantal pagina's:270
Uitgever:Springer Berlin Heidelberg

Lezersrecensies

Wees de eerste die een lezersrecensie schrijft!

Inhoudsopgave

1 Ion Beam.- 2 X-ray Lithography.- 3 Laser Chemical Vapor Deposition.- 4 Laser Photopolymerization.- 5 Laser Ablation.- 6 Thin Films.- References.

Managementboek Top 100

€ 180,99
Levertijd ongeveer 9 werkdagen
Gratis verzonden

Rubrieken

    Personen

      Trefwoorden

        Modelling of Microfabrication Systems