Anton Heuberger
Mikromechanik
Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
Paperback Duits 2012 9783642466229Levertijd ongeveer 9 werkdagen
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Samenvatting
Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftsträchtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich für jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; für den Studierenden ebenso wie für den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.
Specificaties
ISBN13:9783642466229
Taal:Duits
Bindwijze:Paperback
Aantal pagina's:501
Uitgever:Springer Berlin Heidelberg
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