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Vakuumbeschichtung

Verfahren und Anlagen

Paperback Duits 2012 9783642633980
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Samenvatting

Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).

Specificaties

ISBN13:9783642633980
Taal:Duits
Bindwijze:Paperback
Aantal pagina's:481
Uitgever:Springer Berlin Heidelberg
Serie:VDI-Buch

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