Vakuumbeschichtung

Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik

Paperback Duits 2012 9783642635113
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Samenvatting

Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.

Specificaties

ISBN13:9783642635113
Taal:Duits
Bindwijze:Paperback
Aantal pagina's:368
Uitgever:Springer Berlin Heidelberg
Serie:VDI-Buch

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