Ulrich Hilleringmann
Mikrosystemtechnik
Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Paperback Duits 2006 2006e druk 9783835100039Levertijd ± 9 werkdagen
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Samenvatting
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Specificaties
ISBN13:9783835100039
Taal:Duits
Bindwijze:Paperback
Aantal pagina's:272
Uitgever:Vieweg+Teubner Verlag
Druk:2006
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